1、潔凈廠房的功能驗收是經過規定的檢測和調試，確認潔凈室（區）功能參數都能有效的滿足產品生產運行的要求。
2、潔凈廠房的竣工驗收合格，并經核實批準后，按建設方要求進行功能驗收，功能驗收的主要測試內容，一般應包括如下測試：
（1）檢測空氣潔凈度等級；
（2）生產工藝有要求者，還應進行微生物測試或化學污染物測試或特殊表面的潔凈度測試；
（3）潔凈室（區）的溫度、相對濕度的穩定性測試；
（4）檢測自凈時間；
（5）檢測潔凈室（區）的密閉性測試；
（6）測定照度；
（7）測定噪聲級；
（8）需要時，確認和記錄氣流形式和換氣次數；
（9）建設方需要進行的其他檢測項目。
3、潔凈廠房的功能驗收后，應由建設方或建設方委托的相關單位編寫驗收報告，其主要內容有：
（1）潔凈廠房中各種設施的開啟狀態描述；
（2）分項測試記錄及分析意見（包括測試點位置、座標等）；
（3）測試儀器的有效校驗證書；
（4）結論。